| 參數 | MSP - 100B | MSP - 100IR | MSP - 100UV |
|---|---|---|---|
| 測量波長 | 350-1100nm(可見光為主) | 900-1700nm(近紅外) | 230-800nm(紫外 - 可見光) |
| 核心傳感器 | 背照式 CCD 傳感器 | InGaAs 傳感器 | 背照式 CCD 傳感器 |
| 測量再現性(B 型) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) | ±0.2%(380-450nm/951-1050nm);±0.02%(451-950nm) |
| 測量 S/N 比(B 型) | 1000:1(400-900nm) | 1000:1(400-900nm) | 1000:1(400-900nm) |
| 測量光斑(10× 物鏡) | φ50μm | φ50μm | φ50μm |
| 樣品曲率半徑 | -1R 至 +∞(可測曲面) | -1R 至 +∞(可測曲面) | -1R 至 +∞(可測曲面) |
| 核心優勢 | 可見光波段高精度,適配常規光學檢測 | 紅外高靈敏度,適合半導體、紅外元件檢測 | 紫外波段精準,適配光刻膠、UV 涂層等檢測 |
波段定位差異
MSP - 100B:覆蓋可見光及少量近紅外,是通用型可見光反射率測量方案,適合多數常規光學元件(如鏡頭、AR/AG 鍍膜玻璃)的日常檢測。
MSP - 100IR:聚焦近紅外波段,針對紅外光學材料、半導體晶圓、紅外傳感器等,能精準捕捉紅外波段反射特性,適配紅外器件研發與質量控制。
MSP - 100UV:延伸至紫外波段,適配紫外敏感材料,如光刻膠薄膜、UV 固化涂層、紫外光學濾鏡等,滿足半導體光刻、紫外光學元件的高精度檢測需求。
傳感器適配
MSP - 100B/UV 用背照式 CCD,在可見 / 紫外區靈敏度高、信噪比優;MSP - 100IR 用 InGaAs 傳感器,保障紅外波段高靈敏度,匹配其波段測量需求。
共性優勢
三款均具備 φ50μm 微小光斑測量能力,采用半反射鏡技術可消除背面反射,無需背面處理即可測薄至 0.2mm 的樣品,支持曲面與平面測量,操作軟件友好,測量快速且重復性強。
按應用場景選型
| 應用場景 | 推薦型號 | 選型理由 |
|---|---|---|
| 光學鏡頭、AR/AG 鍍膜、常規顯示面板 | MSP - 100B | 可見光波段覆蓋全面,滿足常規光學產品反射率檢測需求 |
| 半導體晶圓、紅外傳感器、紅外光學元件 | MSP - 100IR | 近紅外波段適配,匹配紅外器件反射特性分析需求 |
| 光刻膠、UV 涂層、紫外濾鏡、PCB 光刻工藝 | MSP - 100UV | 紫外波段精準測量,適配紫外敏感材料檢測 |
| 跨波段復合檢測 | 組合選型(如 B+UV/B+IR) | 根據實際波段覆蓋需求,搭配兩款設備實現全波段檢測 |
按樣品特性選型
微小區域(φ50μm)、超薄樣品(0.2mm,20× 物鏡)、曲面樣品:三款均可,優先按波段選擇。
低反射率樣品:三款通過光學設計提升集光效率,搭配高靈敏度傳感器,均可快速穩定測量,按波段匹配即可。
按精度需求選型
451-950nm 波段對精度要求高(±0.02%):三款均可滿足該波段精度;380-450nm/951-1050nm 精度為 ±0.2%,若側重紫外 / 紅外邊緣波段,優先對應型號(UV/IR)。
明確核心測量波段,確定基礎型號(B/IR/UV)。
確認樣品特性(尺寸、厚度、曲面 / 平面、反射率),三款均適配微小 / 超薄 / 曲面樣品,無需額外篩選。
核對精度需求,重點關注目標波段的再現性指標。
若需跨波段測量,可組合兩款型號,覆蓋更寬光譜范圍。